IE414, IE514
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Haute précision des mesures grâce à un système de détection étalonné individuellement
Cathode
échangeable Cuisson à très haute température jusqu'à 400 °C Principe de détection
IE414
Bayard-Alpert Plage de
mesure jusqu'à 2 × 10-11 mbar
Modulation du courant d'émission de la cathode (en combinaison avec le contrôleur du vacuomètre IM540) Principe de détection de l'
extracteur
IE514 Limite de mesure minimale, jusqu'à 2 × 10-12 mbar Réduction significative de la désorption des rayons X et des ions
