Quantus HP100
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analyseur de gaz INFIÇON Quantus HP100 est basé sur la technologie SPOES (Self-Plasma Optical Emission Spectroscopy) et est conçu pour détecter les fuites en temps réel, détecter les points finaux et surveiller les processus lors de la fabrication de semi-conducteurs. Le Quantus HP100 possède une excellente sensibilité, un facteur de forme compact et offre une large plage de pressions de fonctionnement sans pompes coûteuses, ce qui le rend parfaitement adapté à la surveillance et à la protection des processus dans la plupart des outils à semi-conducteurs.
Plage de fonctionnement de 1 Torr à 450 Torr pour l'argon et de 1 Torr à 120 Torr pour l'azote (varie selon les autres espèces de gaz)
Faibles limites de détection <
