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Augent combine deux technologies de capteurs en un seul appareil compact pour la surveillance du type de gaz de 1 x 10-7 à 5 mbar et pour mesurer simultanément la pression totale de 1 x 10-7 mbar dans l'atmosphère. Augent est protégé par un capteur Pirani intégré qui désactive le plasma au-dessus de 20 mbar. Le principe de mesure optique rapide permet de détecter en principe tout type de gaz.
La détection des fuites à grande vitesse permet un test d'étanchéité dans la chambre
Augmenter la productivité et le rendement Durée de vie
prolongée, pas de brûlure des filaments, protection contre l'afflux d'air
Résiste à la chimie du procédé Algorithme
intelligent pour une intégration facile Conception
compacte et faible encombrement Démarrage
fiable et rapide