Transpector XPR 3+
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Protection en temps réel des plaques et des panneaux grâce à la détection à haute sensibilité des fuites d'air et de la contamination due à des pressions de procédé sous vide poussé ou PVD
Maximisez l'efficacité des PM et la disponibilité de l'outil grâce à une qualification rapide et fiable des chambres
Minimisez le coût total de possession grâce à une conception à double source d'ions à durée de vie prolongée et résistante à la contamination ; surveille jusqu'à 20 mTorr sans avoir besoin de pompes. La variante EM basse pression fournit une alternative économique Intégration
fluide dans l'usine et interdiction fiable grâce à une acquisition et à une synchronisation puissantes des données
Améliorez les capacités de fabrication uniques grâce à une optimisation personnalisée des recettes
Protège les besoins critiques des processus grâce à une réponse immédiate sur site de la part des experts
