Transpecteur SPS
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Minimisez le coût total de possession pour la protection des plaquettes et des panneaux grâce à une entrée d'échantillonnage à pression unique ; idéale pour les processus à haute pression tels que la diffusion, l'épitaxie et la RTP
Fournit le niveau le plus bas de détection des fuites d'air et de la contamination pour les processus à haute pression constants Intégration
transparente en usine et interdiction fiable grâce à une acquisition et une synchronisation puissantes des capacités de fabrication
Améliore les capacités de fabrication uniques grâce à une optimisation personnalisée des recettes
Protège les besoins critiques des processus grâce à une réponse immédiate sur site de la part des experts
