Transpector CPM 3
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Analyseur de gaz résiduels pour ALD, Etch, CVD et DEGAS de 300 mm : permet la surveillance et l'analyse des processus en temps réel.
Prêt pour l'ALD avec une vitesse de mesure de 1,8 ms par point (555 points par seconde) Durabilité et fiabilité
éprouvées sur le terrain dans les applications CVD et de gravure les plus exigeantes Intégration des applications : Transpector CPM devient un puissant outil de surveillance et de diagnostic des processus lorsqu'il est intégré au logiciel FabGuard et soutenu par les experts en
applications de renommée mondiale d'INFIÇON. Taille compacte : permet une intégration facile en production
équipement à semi-conducteurs
Hexblock™ avec jusqu'à trois entrées de pression et une surface réduite pour minimiser les réactions de surface et les temps de réponse. Manomètre à diaphragme
capacitif (CDG) —Le CDG permet à l'utilisateur de surveiller la pression du processus et de protéger automatiquement le système contre les excursions de pression. Étalonnage
automatisé : garantit la stabilité et la précision des données à long terme pour l'adaptation capteur à capteur et
