Transpecteur APX multi-pression
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L'INFIÇON Transpector APX reste l'analyseur de gaz résiduel (RGA) leader du marché pour la surveillance des semi-conducteurs et des processus d'affichage. INFIÇON sait que les clients des semi-conducteurs et des écrans ont des besoins uniques, et la dernière révision du Transpector APX offre une plus grande flexibilité pour répondre aux exigences spécifiques des applications, tout en maintenant une vitesse de mesure et une sensibilité de pointe. Le Transpector APX est le moniteur de processus RGA idéal pour les procédés semi-conducteurs tels que l'ALD, le CVD, le PVD et l'Etch.
Conception de plate-forme spécifique à l'application pour prolonger la durée de vie de votre procédé ALD ou CVD, pour une protection optimale des plaquettes et des panneaux et une optimisation des processus. Prêt pour l'
ALD avec des vitesses de mesure de plus de 550 points de données par seconde
Réduction de l'encombrement de l'usine de 30 % et facilité d'installation grâce à un système de pompage haute performance
Configurable HexBlock™ avec revêtement exclusif INFIÇON avec jusqu'à trois entrées de pression capables de résister à une chimie
