Transpecteur APX ALD Monopressure
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Conception de plate-forme spécifique à l'application pour prolonger la durée de vie de votre procédé ALD ou CVD pour une protection optimale des plaquettes et des panneaux et une optimisation des processus. Prêt à l'
ALD avec des vitesses de mesure de plus de 550 points de données par seconde. Encombrement de l'usine
réduit de 30 % et installation plus facile grâce à un système de pompage haute performance Entrée à
température contrôlée avec revêtement exclusif INFIÇON pour une entrée de pression discrète capable de résister à une chimie corrosive sévère L'étalonnage
automatique garantit la fiabilité et la précision des données à long terme d'un capteur à l'autre et le
Transpector APX devient un puissant outil de surveillance et de diagnostic des processus lorsqu'il est intégré au logiciel FabGuard® et soutenu par
